据麦姆斯咨询报道，2024年12月13日至15日，西北工业大学教授虞益挺将参加《第67期“见微知著”培训课程：光谱仪及光谱成像》并进行授课，具体信息如下：

授课主题：基于硅基微纳光栅的微型光谱仪

授课老师简介：

虞益挺，博士，西北工业大学机电学院教授、博士生导师，兼任西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心负责人，国家级创新领军人才、国家173重点项目首席科学家、优青、教育部新世纪优秀人才、教育部全国百篇优博论文奖获得者、德国洪堡学者、陕西省优秀青年科技新星。他主持建成浙江省首条8英寸硅基MEMS前道工艺中试线，主持立项浙江省军民融合创新示范基地、浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台及宁波市光学微系统及应用技术重点实验室，担任浙江省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室副主任，“甬江引才工程”创新团队负责人，中国光学工程学会理事、中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会副理事长暨青工委委员、中国机械工程学会极端制造分会委员，国家多部委及多省市项目、科技奖评审专家。他主要从事MEMS光功能芯片及先进视觉感知技术研究，面向遥感遥测、医疗诊断、智慧城市、智能制造、军事国防等应用领域研制高性能、低成本、超紧凑的核心微纳光功能芯片，进而推动相关仪器或装备的微型化、集成化、智能化与低成本化。他先后主持国家自然科学基金优青及面上项目、军科委基础加强重点项目及创新特区项目、装备预研航天科技联合基金、中航产学研专项、航空科学基金等课题10余项。至今，他在NC、IF、AOM、OEA、MINE、AC、Nanoscale、Opt. Express、Opt. Lett.、中国光学、光学精密工程、光学学报等国内外重要学术期刊发表论文130余篇，获授权中国发明专利35项。他合作出版了工信部“十四五”规划教材《微机电系统》（第2版）。

授课背景及内容：

光栅色散型光谱仪分为反射式和透射式两大类，一般由一个或多个衍射光栅、一段光程以及一个探测器阵列组成。光通过入射狭缝被准直照射在衍射光栅上，衍射光栅将光谱分散到不同的方向，最后凹面镜将分散的光聚焦到探测器阵列上得到光谱分布。这种光谱仪拥有超高分辨率、宽光谱范围和成熟的技术路线。通过缩短光程、简化光路，以及利用以MEMS为代表的微纳制造技术减小元件尺寸等方法都能实现色散型光谱仪的微型化。例如，日本滨松（Hamamatsu）利用MEMS技术实现了全球最小的光栅色散型集成光谱仪——Micro系列产品，其重量仅为5g，并且价格低廉，适用于消费电子市场。本课程主要讲解硅基微纳光栅设计与加工，以及微型光谱仪的实现路径及典型应用。

滨松Mini系列光谱仪和Micro系列光谱仪 

课程提纲：1. 衍射光栅（反射/透射光栅）分光原理；
2. 硅基微纳光栅：设计与加工；
3. 基于硅基微纳光栅的微型光谱仪及其应用。

培训详情：https://www.memstraining.com/training-67.html

据麦姆斯咨询报道，2024年12月13日至15日，西北工业大学教授虞益挺将参加《第67期“见微知著”培训课程：光谱仪及光谱成像》并进行授课，具体信息如下：

授课主题：基于硅基微纳光栅的微型光谱仪

授课老师简介：

虞益挺，博士，西北工业大学机电学院教授、博士生导师，兼任西北工业大学宁波研究院智能传感芯片技术研究中心负责人，国家级创新领军人才、国家173重点项目首席科学家、优青、教育部新世纪优秀人才、教育部全国百篇优博论文奖获得者、德国洪堡学者、陕西省优秀青年科技新星。他主持建成浙江省首条8英寸硅基MEMS前道工艺中试线，主持立项浙江省军民融合创新示范基地、浙江省MEMS传感芯片定制加工服务型示范平台及宁波市光学微系统及应用技术重点实验室，担任浙江省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室副主任，“甬江引才工程”创新团队负责人，中国光学工程学会理事、中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会副理事长暨青工委委员、中国机械工程学会极端制造分会委员，国家多部委及多省市项目、科技奖评审专家。他主要从事MEMS光功能芯片及先进视觉感知技术研究，面向遥感遥测、医疗诊断、智慧城市、智能制造、军事国防等应用领域研制高性能、低成本、超紧凑的核心微纳光功能芯片，进而推动相关仪器或装备的微型化、集成化、智能化与低成本化。他先后主持国家自然科学基金优青及面上项目、军科委基础加强重点项目及创新特区项目、装备预研航天科技联合基金、中航产学研专项、航空科学基金等课题10余项。至今，他在NC、IF、AOM、OEA、MINE、AC、Nanoscale、Opt. Express、Opt. Lett.、中国光学、光学精密工程、光学学报等国内外重要学术期刊发表论文130余篇，获授权中国发明专利35项。他合作出版了工信部“十四五”规划教材《微机电系统》（第2版）。

授课背景及内容：

光栅色散型光谱仪分为反射式和透射式两大类，一般由一个或多个衍射光栅、一段光程以及一个探测器阵列组成。光通过入射狭缝被准直照射在衍射光栅上，衍射光栅将光谱分散到不同的方向，最后凹面镜将分散的光聚焦到探测器阵列上得到光谱分布。这种光谱仪拥有超高分辨率、宽光谱范围和成熟的技术路线。通过缩短光程、简化光路，以及利用以MEMS为代表的微纳制造技术减小元件尺寸等方法都能实现色散型光谱仪的微型化。例如，日本滨松（Hamamatsu）利用MEMS技术实现了全球最小的光栅色散型集成光谱仪——Micro系列产品，其重量仅为5g，并且价格低廉，适用于消费电子市场。本课程主要讲解硅基微纳光栅设计与加工，以及微型光谱仪的实现路径及典型应用。

滨松Mini系列光谱仪和Micro系列光谱仪 

课程提纲：1. 衍射光栅（反射/透射光栅）分光原理；
2. 硅基微纳光栅：设计与加工；
3. 基于硅基微纳光栅的微型光谱仪及其应用。

培训详情：https://www.memstraining.com/training-67.html