据麦姆斯咨询报道，2024年12月13日至15日，北京理工大学教授谢会开将参加《第67期“见微知著”培训课程：光谱仪及光谱成像》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：基于MEMS迈克尔逊干涉仪的微型傅里叶变换型光谱仪
授课老师简介：
谢会开，博士，北京理工大学集成电路与电子学院教授，国家海外高层次人才，北京理工大学重庆微电子研究院院长、首席科学家，集成声光电微纳系统教育部工程研究中心主任。他在北京理工大学微电子专业获得本科和硕士学位之后，到清华大学微电子学研究所从事科研及教学工作4年，之后赴美留学，并于2002年获得美国卡内基梅隆大学电子与计算博士学位，同年作为助理教授任教于美国佛罗里达大学电气与计算机工程系，并分别于2007年和2011年晋升为副教授/终身教授和正教授。2020年全职回到母校北京理工大学任教。他的主要研究方向包括MEMS/NEMS、光学/声学/惯性MEMS传感器、微纳光学、生物光子学、光学显微内窥影像、微型光谱仪和激光雷达，发表论文350余篇，获得授权美国专利19项、授权中国发明专利50余项。他担任国际期刊IEEE Sensors Letters和Sensors and Actuators A副主编，2018年入选IEEE Fellow和SPIE Fellow。
授课背景及内容：
傅里叶变换型光谱仪通过测量干涉图并对干涉图进行傅里叶变换来获得物体的光谱信息。由于这种类型的光谱仪不需要分光，充分利用全部波长的全部光强信息，因此其具有光通量大、光谱分辨率高等优点，在弱辐射探测方面优势明显。但由于傅里叶变换型光谱仪的迈克尔逊干涉仪设计中存在动镜——它依靠步进电机和其它精密机械系统驱动，所以其可靠性和便携性受到较大限制，特别是对光谱仪的使用和放置环境有严格要求。为此，研究人员通过引入MEMS技术来解决这类光谱仪的微型化问题，同时通过制造精度取代装配精度来保证动镜的倾斜角度，降低光谱仪的装调成本。本课程介绍利用MEMS微镜来替代动镜的迈克尔逊干涉仪方案，从而实现傅里叶变换型光谱仪的微型化。
课程提纲：1. 光谱仪种类及其基本原理；
2. 基于迈克尔逊干涉仪的傅里叶变换光谱仪技术概述；
3. 迈克尔逊干涉仪微型化及其对MEMS微镜的指标要求；
4. MEMS微镜分类、结构及驱动原理；
5. 大位移MEMS微镜设计与制造；
6. 基于MEMS迈克尔逊干涉仪的微型傅里叶变换光谱仪设计案例；
7. 微型傅里叶变换光谱仪技术总结与展望。
培训详情：https://www.memstraining.com/training-67.html
据麦姆斯咨询报道，2024年12月13日至15日，北京理工大学教授谢会开将参加《第67期“见微知著”培训课程：光谱仪及光谱成像》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：基于MEMS迈克尔逊干涉仪的微型傅里叶变换型光谱仪
授课老师简介：
谢会开，博士，北京理工大学集成电路与电子学院教授，国家海外高层次人才，北京理工大学重庆微电子研究院院长、首席科学家，集成声光电微纳系统教育部工程研究中心主任。他在北京理工大学微电子专业获得本科和硕士学位之后，到清华大学微电子学研究所从事科研及教学工作4年，之后赴美留学，并于2002年获得美国卡内基梅隆大学电子与计算博士学位，同年作为助理教授任教于美国佛罗里达大学电气与计算机工程系，并分别于2007年和2011年晋升为副教授/终身教授和正教授。2020年全职回到母校北京理工大学任教。他的主要研究方向包括MEMS/NEMS、光学/声学/惯性MEMS传感器、微纳光学、生物光子学、光学显微内窥影像、微型光谱仪和激光雷达，发表论文350余篇，获得授权美国专利19项、授权中国发明专利50余项。他担任国际期刊IEEE Sensors Letters和Sensors and Actuators A副主编，2018年入选IEEE Fellow和SPIE Fellow。
授课背景及内容：
傅里叶变换型光谱仪通过测量干涉图并对干涉图进行傅里叶变换来获得物体的光谱信息。由于这种类型的光谱仪不需要分光，充分利用全部波长的全部光强信息，因此其具有光通量大、光谱分辨率高等优点，在弱辐射探测方面优势明显。但由于傅里叶变换型光谱仪的迈克尔逊干涉仪设计中存在动镜——它依靠步进电机和其它精密机械系统驱动，所以其可靠性和便携性受到较大限制，特别是对光谱仪的使用和放置环境有严格要求。为此，研究人员通过引入MEMS技术来解决这类光谱仪的微型化问题，同时通过制造精度取代装配精度来保证动镜的倾斜角度，降低光谱仪的装调成本。本课程介绍利用MEMS微镜来替代动镜的迈克尔逊干涉仪方案，从而实现傅里叶变换型光谱仪的微型化。
课程提纲：1. 光谱仪种类及其基本原理；
2. 基于迈克尔逊干涉仪的傅里叶变换光谱仪技术概述；
3. 迈克尔逊干涉仪微型化及其对MEMS微镜的指标要求；
4. MEMS微镜分类、结构及驱动原理；
5. 大位移MEMS微镜设计与制造；
6. 基于MEMS迈克尔逊干涉仪的微型傅里叶变换光谱仪设计案例；
7. 微型傅里叶变换光谱仪技术总结与展望。
培训详情：https://www.memstraining.com/training-67.html
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