高端算力芯片倒逼封装基材升级
AI算力GPU、XPU搭配HBM高带宽内存芯片,持续向超大尺寸、超高I/O密度迭代升级,传统硅中介层、有机载板封装路线遭遇两大硬性发展瓶颈。第一为尺寸利用率瓶颈:行业主流300mm圆形硅晶圆,制备大面积矩形中介层边角废料损耗极大,面积有效利用率仅维持45%,材料浪费推高封装成本;第二为传输与热机械性能瓶颈:有机载板高频工况介电损耗高、信号串扰问题突出,且热膨胀系数与硅芯片体系匹配度极差,大尺寸封装热循环工况下,极易出现基板翘曲、热应力集中问题,大幅降低封装良率,削弱芯片长期运行可靠性。
基于现有基材短板,行业形成两大并行迭代路径:一是存量优化路径,升级CoWoS平台光刻曝光倍率,放大硅中介层等效尺寸,延缓基材替代节奏;二是变革迭代路径,将互连载体从圆形硅晶圆,迁移至大尺寸矩形玻璃面板,落地CoPoS面板基板封装方案,核心变更为中介层/载板基材玻璃化,依托TGV玻璃通孔实现垂直互连,兼容现有μBump、RDL布线、有机载板成熟产业生态。
玻璃材料的性能优势与替代逻辑
CoPoS全称Chip-on-Panel-on-Substrate面板基板封装,技术定位并非替代淘汰CoWoS硅基封装,而是打破硅封装受限圆形晶圆几何尺寸的发展桎梏。CoPoS适配大尺寸玻璃面板制程,主流量产验证面板规格达510×515mm,远期可拓展至750×620mm超大尺寸面板,同等工艺条件下,可提升单面板中介层排布数量、提升晶圆产出效率;同时依托玻璃原生绝缘属性、可调热膨胀系数,根治大面积封装热循环翘曲痛点,适配高阶算力多芯片异构集成封装需求。
结合台积电官方产业口径,2026年6月股东会董事长魏哲家公开表示,CoPoS玻璃封装试点产线Pilot Line已搭建完成,但新技术工程量产配套尚未成熟,短期不具备大规模量产能力,行业测算仍需2-3年打磨,规模化量产窗口锚定2028-2029年。供应链信息同步佐证,台积电CoPoS专项试产线落地子公司采钰龙潭厂区,现阶段处于设备调试、制程验证阶段,小批量试样节点预计落在2026年末至2027年。
从基材物性来看,玻璃适配高端封装优势明确:绝缘属性优异、高频介电损耗极低,保障高速信号传输完整性;热膨胀系数可配方定制,肖特半导体玻璃面板CTE区间3-8ppm/K,主流适配硅体系档位为3.2/3.3/5.0/7.2ppm/K,510×515mm量产面板厚度0.5-1.1mm,全域翘曲可控100-200μm以内,热稳定性优异;配套TGV玻璃通孔深宽比可达50:1,远超硅基TSV通孔10:1上限,可实现更高密度垂直互连。
英特尔玻璃基板封装商业化进度行业领先,布局时序早于同业,2023年便官宣玻璃基先进封装技术路线,依托玻璃基材提升互连密度,匹配企业2030年万亿晶体管芯片研发目标。2026年1月NEPCON Japan行业展会,英特尔公开EMIB桥接+玻璃芯载板整合样品,采用10-2-10堆叠结构,即上下双层各10层RDL布线、中层2层玻璃芯基板,整体封装尺寸78×77mm,产品通过可靠性测试,达成基板无微裂纹量产标准,打消产业应用顾虑。对应Clearwater Forest架构至强6系列商用服务器芯片,成为业内首款搭载玻璃芯载板的商用级处理器,标志玻璃载板正式落地终端算力产品。
全球产业化验证进程加速
产能布局层面,英特尔规划改造新墨西哥州里奥兰乔工厂,打造全球玻璃基板专属量产基地,项目依托美国芯片法案补贴落地,总升级资金35亿美元,其中5亿美元专项投向先进封装、硅光子配套玻璃产线;钱德勒园区定位试验试制基地,承接前期工艺研发、小批量试样工作。对比台积电大尺寸CoPoS路线,英特尔技术落地逻辑更务实,优先落地玻璃芯载板、EMIB玻璃桥接产品,跑通工艺、成本、可靠性闭环后,再扩容面板尺寸、提升互连密度,工程落地难度更低、商业化见效更快。
从细分市场体量研判,玻璃基板遵循痛点优先、分步替代逻辑,不会全面快速替换现有封装基材。体量拆分来看,2024年全球先进IC载板市场规模142亿美元,受益HPC高端服务器芯片扩容,2030年市场规模有望增至310亿美元,赛道空间广阔;反观传统CoWoS-S大面积硅中介层赛道,受局部硅桥、扇出封装、玻璃中介层多元技术分流影响,行业规模小幅萎缩,预计从2024年20亿美元回落至2030年16亿美元。产业替代节奏清晰:玻璃基材优先切入大尺寸封装、高频传输、高热应力等高痛点应用场景,抢占增量封装市场,后续依托工艺降本,逐步渗透存量硅基、有机基材封装市场。
光电共封装CPO为玻璃基板远期核心增量赛道,属于行业长期价值期权。当下交换机ASIC、交换芯片带宽持续升级,迭代路径从800G迈向1.6T及以上规格,传统外置可插拔光模块电互连路径偏长,高频传输功耗、信号损耗触顶,行业亟需缩短光电互连距离,CPO光电共封装成为最优解。
玻璃基材适配CPO核心优势:绝缘性强、介电损耗低,可见光至红外波段透光性能优异,可通过离子交换IOX工艺,在基板内部制备超低损耗定制光波导;康宁联合Ayar Labs研发玻璃基光波导原型,1310nm波段传输损耗低至0.08dB/cm,工艺优化后最低可达0.034dB/cm,芯片与波导耦合损耗稳定控制在0.5dB。同时产业客观难点突出:同一块玻璃基板集成TGV电通孔、RDL布线、内置光波导、光纤耦合结构,对基板平整度、内部缺陷、热机械适配、光学对准精度要求极高,量产良率管控难度远高于纯电互连玻璃基板。因此行业落地优先级分化:短期纯电互连玻璃中介层、玻璃芯载板率先放量,快速实现商业盈利;光电一体化玻璃CPO基板工艺门槛更高,属于中长期技术落地方向。
半导体级玻璃基板量产核心壁垒集中两大环节:大尺寸原片量产一致性、面板级TGV通孔规模化加工,全制程链路为:玻璃原片制备预处理→TGV通孔成孔→孔壁种子层制备金属化→电镀填孔盘面平坦化→表层布线RDL制备→成品可靠性检测验证。行业共识:通孔加工工艺已可实现小批量试制,大尺寸面板全域性能一致性,才是量产良率核心制约因素。原片制造维度,肖特量产510×515mm规格玻璃原片,严苛管控工艺参数,面板总厚度公差TTV≤10-20μm,成品翘曲≤100-200μm,原片厚度区间0.5-1.1mm,一旦原片厚度、平整度不达标,后续光刻、金属化工序良率会系统性下滑。
TGV四大成孔路线产业化优劣明确:第一,机械喷砂、机械钻孔工艺成本低廉,但加工易造成玻璃崩边、次生微裂纹,无法适配高密度高端封装;第二,激光直接消融成孔,图形切换灵活、孔径精度尚可,但加工热影响区明显,衍生孔口重凝、孔壁粗糙、锥度偏大问题,电学可靠性不足;第三,激光诱导改性+湿法选择性刻蚀LIDE两步法,为行业最优量产路线,激光定点改性、化学湿法开孔,无机械损伤、无高温熔融,孔壁光洁度高、微裂纹极少,适配面板级大批量通孔加工;第四,光敏玻璃晶化成孔,孔位阵列精度优异,但专用感光玻璃选材受限、采购成本偏高,电学性能无法适配高速算力互连,制程工序繁杂、生产周期长,商用适配性较弱。
相关公司
沃格光电联合设立了通格微作为芯片板级封装载板产业园的项目主体,公司已经掌握了行业领先的玻璃薄化与溅射铜技术,其巨量微米级通孔能力可以将最小孔径做到10微米,玻璃厚度最薄下探到50微米,成功实现了产品轻薄化。
京东方A则基于大尺寸面板制造能力的复用,在2024年投资了9.93亿元建成了高标准的玻璃基封装载板试验线并向国内客户送样,部分客户已经顺利通过概念认证并步入技术测试阶段。为了进一步巩固技术壁垒,京东方A在2026年5月与海外特种玻璃龙头康宁正式签署了合作备忘录,双方将围绕玻璃基封装载板、钙钛矿玻璃基板和光互连等多个前沿领域展开深度合作。
天承科技在关键的技术指标上取得了重大突破,其在深径比高达10至15的垂直通孔填孔电镀加工中实现了高效率与高良率,目前已经与京东方A、三叠纪和玻芯成等通孔精加工客户建立持续合作并顺利取得了小批量订单,后续有望受益于先进封装产业化的推进。
301***在硼硅玻璃熔制与成型工艺上深耕多年,并正在依托其低热膨胀和低介电损耗特性积极向半导体相关功能材料延伸。公司将微晶玻璃和玻璃基板作为重点拓展方向,其高端新材料试验线研发项目中的中试窑炉已于2026年6月1日顺利点火,标志着公司在特种功能玻璃新材料领域的布局正式迈入中试验证的新阶段。
600***作为超薄电子玻璃和应用材料平台型企业,在显示玻璃薄化和高精度后加工环节形成了较深积累,目前正在推进通孔玻璃相关技术研发,探索将精密加工能力向半导体玻璃基板方向延伸,当前公司相关业务仍处于技术储备与产业化培育阶段。
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作者:于晓明 执业证书编号:A0680622030012
高端算力芯片倒逼封装基材升级
AI算力GPU、XPU搭配HBM高带宽内存芯片,持续向超大尺寸、超高I/O密度迭代升级,传统硅中介层、有机载板封装路线遭遇两大硬性发展瓶颈。第一为尺寸利用率瓶颈:行业主流300mm圆形硅晶圆,制备大面积矩形中介层边角废料损耗极大,面积有效利用率仅维持45%,材料浪费推高封装成本;第二为传输与热机械性能瓶颈:有机载板高频工况介电损耗高、信号串扰问题突出,且热膨胀系数与硅芯片体系匹配度极差,大尺寸封装热循环工况下,极易出现基板翘曲、热应力集中问题,大幅降低封装良率,削弱芯片长期运行可靠性。
基于现有基材短板,行业形成两大并行迭代路径:一是存量优化路径,升级CoWoS平台光刻曝光倍率,放大硅中介层等效尺寸,延缓基材替代节奏;二是变革迭代路径,将互连载体从圆形硅晶圆,迁移至大尺寸矩形玻璃面板,落地CoPoS面板基板封装方案,核心变更为中介层/载板基材玻璃化,依托TGV玻璃通孔实现垂直互连,兼容现有μBump、RDL布线、有机载板成熟产业生态。
玻璃材料的性能优势与替代逻辑
CoPoS全称Chip-on-Panel-on-Substrate面板基板封装,技术定位并非替代淘汰CoWoS硅基封装,而是打破硅封装受限圆形晶圆几何尺寸的发展桎梏。CoPoS适配大尺寸玻璃面板制程,主流量产验证面板规格达510×515mm,远期可拓展至750×620mm超大尺寸面板,同等工艺条件下,可提升单面板中介层排布数量、提升晶圆产出效率;同时依托玻璃原生绝缘属性、可调热膨胀系数,根治大面积封装热循环翘曲痛点,适配高阶算力多芯片异构集成封装需求。
结合台积电官方产业口径,2026年6月股东会董事长魏哲家公开表示,CoPoS玻璃封装试点产线Pilot Line已搭建完成,但新技术工程量产配套尚未成熟,短期不具备大规模量产能力,行业测算仍需2-3年打磨,规模化量产窗口锚定2028-2029年。供应链信息同步佐证,台积电CoPoS专项试产线落地子公司采钰龙潭厂区,现阶段处于设备调试、制程验证阶段,小批量试样节点预计落在2026年末至2027年。
从基材物性来看,玻璃适配高端封装优势明确:绝缘属性优异、高频介电损耗极低,保障高速信号传输完整性;热膨胀系数可配方定制,肖特半导体玻璃面板CTE区间3-8ppm/K,主流适配硅体系档位为3.2/3.3/5.0/7.2ppm/K,510×515mm量产面板厚度0.5-1.1mm,全域翘曲可控100-200μm以内,热稳定性优异;配套TGV玻璃通孔深宽比可达50:1,远超硅基TSV通孔10:1上限,可实现更高密度垂直互连。
英特尔玻璃基板封装商业化进度行业领先,布局时序早于同业,2023年便官宣玻璃基先进封装技术路线,依托玻璃基材提升互连密度,匹配企业2030年万亿晶体管芯片研发目标。2026年1月NEPCON Japan行业展会,英特尔公开EMIB桥接+玻璃芯载板整合样品,采用10-2-10堆叠结构,即上下双层各10层RDL布线、中层2层玻璃芯基板,整体封装尺寸78×77mm,产品通过可靠性测试,达成基板无微裂纹量产标准,打消产业应用顾虑。对应Clearwater Forest架构至强6系列商用服务器芯片,成为业内首款搭载玻璃芯载板的商用级处理器,标志玻璃载板正式落地终端算力产品。
全球产业化验证进程加速
产能布局层面,英特尔规划改造新墨西哥州里奥兰乔工厂,打造全球玻璃基板专属量产基地,项目依托美国芯片法案补贴落地,总升级资金35亿美元,其中5亿美元专项投向先进封装、硅光子配套玻璃产线;钱德勒园区定位试验试制基地,承接前期工艺研发、小批量试样工作。对比台积电大尺寸CoPoS路线,英特尔技术落地逻辑更务实,优先落地玻璃芯载板、EMIB玻璃桥接产品,跑通工艺、成本、可靠性闭环后,再扩容面板尺寸、提升互连密度,工程落地难度更低、商业化见效更快。
从细分市场体量研判,玻璃基板遵循痛点优先、分步替代逻辑,不会全面快速替换现有封装基材。体量拆分来看,2024年全球先进IC载板市场规模142亿美元,受益HPC高端服务器芯片扩容,2030年市场规模有望增至310亿美元,赛道空间广阔;反观传统CoWoS-S大面积硅中介层赛道,受局部硅桥、扇出封装、玻璃中介层多元技术分流影响,行业规模小幅萎缩,预计从2024年20亿美元回落至2030年16亿美元。产业替代节奏清晰:玻璃基材优先切入大尺寸封装、高频传输、高热应力等高痛点应用场景,抢占增量封装市场,后续依托工艺降本,逐步渗透存量硅基、有机基材封装市场。
光电共封装CPO为玻璃基板远期核心增量赛道,属于行业长期价值期权。当下交换机ASIC、交换芯片带宽持续升级,迭代路径从800G迈向1.6T及以上规格,传统外置可插拔光模块电互连路径偏长,高频传输功耗、信号损耗触顶,行业亟需缩短光电互连距离,CPO光电共封装成为最优解。
玻璃基材适配CPO核心优势:绝缘性强、介电损耗低,可见光至红外波段透光性能优异,可通过离子交换IOX工艺,在基板内部制备超低损耗定制光波导;康宁联合Ayar Labs研发玻璃基光波导原型,1310nm波段传输损耗低至0.08dB/cm,工艺优化后最低可达0.034dB/cm,芯片与波导耦合损耗稳定控制在0.5dB。同时产业客观难点突出:同一块玻璃基板集成TGV电通孔、RDL布线、内置光波导、光纤耦合结构,对基板平整度、内部缺陷、热机械适配、光学对准精度要求极高,量产良率管控难度远高于纯电互连玻璃基板。因此行业落地优先级分化:短期纯电互连玻璃中介层、玻璃芯载板率先放量,快速实现商业盈利;光电一体化玻璃CPO基板工艺门槛更高,属于中长期技术落地方向。
半导体级玻璃基板量产核心壁垒集中两大环节:大尺寸原片量产一致性、面板级TGV通孔规模化加工,全制程链路为:玻璃原片制备预处理→TGV通孔成孔→孔壁种子层制备金属化→电镀填孔盘面平坦化→表层布线RDL制备→成品可靠性检测验证。行业共识:通孔加工工艺已可实现小批量试制,大尺寸面板全域性能一致性,才是量产良率核心制约因素。原片制造维度,肖特量产510×515mm规格玻璃原片,严苛管控工艺参数,面板总厚度公差TTV≤10-20μm,成品翘曲≤100-200μm,原片厚度区间0.5-1.1mm,一旦原片厚度、平整度不达标,后续光刻、金属化工序良率会系统性下滑。
TGV四大成孔路线产业化优劣明确:第一,机械喷砂、机械钻孔工艺成本低廉,但加工易造成玻璃崩边、次生微裂纹,无法适配高密度高端封装;第二,激光直接消融成孔,图形切换灵活、孔径精度尚可,但加工热影响区明显,衍生孔口重凝、孔壁粗糙、锥度偏大问题,电学可靠性不足;第三,激光诱导改性+湿法选择性刻蚀LIDE两步法,为行业最优量产路线,激光定点改性、化学湿法开孔,无机械损伤、无高温熔融,孔壁光洁度高、微裂纹极少,适配面板级大批量通孔加工;第四,光敏玻璃晶化成孔,孔位阵列精度优异,但专用感光玻璃选材受限、采购成本偏高,电学性能无法适配高速算力互连,制程工序繁杂、生产周期长,商用适配性较弱。
相关公司
沃格光电联合设立了通格微作为芯片板级封装载板产业园的项目主体,公司已经掌握了行业领先的玻璃薄化与溅射铜技术,其巨量微米级通孔能力可以将最小孔径做到10微米,玻璃厚度最薄下探到50微米,成功实现了产品轻薄化。
京东方A则基于大尺寸面板制造能力的复用,在2024年投资了9.93亿元建成了高标准的玻璃基封装载板试验线并向国内客户送样,部分客户已经顺利通过概念认证并步入技术测试阶段。为了进一步巩固技术壁垒,京东方A在2026年5月与海外特种玻璃龙头康宁正式签署了合作备忘录,双方将围绕玻璃基封装载板、钙钛矿玻璃基板和光互连等多个前沿领域展开深度合作。
天承科技在关键的技术指标上取得了重大突破,其在深径比高达10至15的垂直通孔填孔电镀加工中实现了高效率与高良率,目前已经与京东方A、三叠纪和玻芯成等通孔精加工客户建立持续合作并顺利取得了小批量订单,后续有望受益于先进封装产业化的推进。
301***在硼硅玻璃熔制与成型工艺上深耕多年,并正在依托其低热膨胀和低介电损耗特性积极向半导体相关功能材料延伸。公司将微晶玻璃和玻璃基板作为重点拓展方向,其高端新材料试验线研发项目中的中试窑炉已于2026年6月1日顺利点火,标志着公司在特种功能玻璃新材料领域的布局正式迈入中试验证的新阶段。
600***作为超薄电子玻璃和应用材料平台型企业,在显示玻璃薄化和高精度后加工环节形成了较深积累,目前正在推进通孔玻璃相关技术研发,探索将精密加工能力向半导体玻璃基板方向延伸,当前公司相关业务仍处于技术储备与产业化培育阶段。
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作者:于晓明 执业证书编号:A0680622030012