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水导激光加工技术(WJGL)是一种混合加工方法,它将激光与“细如发丝”的水射流相结合,以类似于传统光纤的方式通过全内反射引导激光束,水射流可以持续冷却切割区域并有效地清除碎屑。作为一种“清洁、受控的冷激光技术”,WJGL技术解决了干式激光加工技术存在的重大问题,如热损伤、污染、变形、碎屑沉积、氧化、微裂纹、锥度和精度低。
技术指标
激光器:
(1)脉冲持续时间在us或ns范围内的二极管泵浦固态脉冲Nd:YAG激光器,工作波长为1064、532或355nm。
(2)平均激光功率范围为20-400W。
超纯水:
(1)系统含自带水处理系统、纯净的去离子过滤水。
(2)水射流"细如发丝",耗水量低:在50-800 bar 压力下约10L/h;对工件施加的作用力可以忽略不计(<0.1N)。
喷嘴:
(1)喷嘴由蓝宝石或金刚石制成,可以在很长一段时间内产生长而稳定的水射流,而且无需更换。
(2)直径范围:25-100 um。切割切口宽度范围为27-100um,具体取决于喷嘴尺寸。激光能量总是被引导到切口的底部。
技术比较
水导激光加工技术采用在空气-水界面完全反射的激光束。光束可以被引导超过 100 mm 的距离,从而实现平行的高纵横比切口。无需对焦或距离控制。
加热、消融和冷却在每个激光脉冲中重复。在下一个激光脉冲发射前,激光烧蚀位置已被冷却至正常水温。该过程实现了约1%时间的激光加工和快速冷却。
技术优势
(1)超细水束流,无需对焦的高精密加工
(2)大能量的纳秒激光,可实现高效加工
(3)水束流冷却作用,避免热损伤
(4)水束流冲刷作用,提高加工表面质
加工材料
钻石:原石和合成钻石(CVD、HPHT)
金属:不锈钢、铝、铍铜、铜、黄铜、金、形状记忆合金(镍钛诺)、钛、镍、高温合金
超硬材料:多晶立方氮化硼(PCBK量和低晶金刚石(PCD)、单晶金刚石(SCD)
陶瓷:氧化锆(ZRO2)、氮化铝 (ALN)、氧化铝 (AL203)、氮化硅 (SIN)
半导体:硅(SI)、砷化镓(GAAS)、碳化硅 (SIC)
复合材料:陶瓷基复合材料(CMC)、金刚石复合材料、碳纤维增强复合材料
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激光器:
(1)脉冲持续时间在us或ns范围内的二极管泵浦固态脉冲Nd:YAG激光器,工作波长为1064、532或355nm。
(2)平均激光功率范围为20-400W。
超纯水:
(1)系统含自带水处理系统、纯净的去离子过滤水。
(2)水射流"细如发丝",耗水量低:在50-800 bar 压力下约10L/h;对工件施加的作用力可以忽略不计(<0.1N)。
喷嘴:
(1)喷嘴由蓝宝石或金刚石制成,可以在很长一段时间内产生长而稳定的水射流,而且无需更换。
(2)直径范围:25-100 um。切割切口宽度范围为27-100um,具体取决于喷嘴尺寸。激光能量总是被引导到切口的底部。
技术比较
水导激光加工技术采用在空气-水界面完全反射的激光束。光束可以被引导超过 100 mm 的距离,从而实现平行的高纵横比切口。无需对焦或距离控制。
加热、消融和冷却在每个激光脉冲中重复。在下一个激光脉冲发射前,激光烧蚀位置已被冷却至正常水温。该过程实现了约1%时间的激光加工和快速冷却。
技术优势
(1)超细水束流,无需对焦的高精密加工
(2)大能量的纳秒激光,可实现高效加工
(3)水束流冷却作用,避免热损伤
(4)水束流冲刷作用,提高加工表面质
加工材料
钻石:原石和合成钻石(CVD、HPHT)
金属:不锈钢、铝、铍铜、铜、黄铜、金、形状记忆合金(镍钛诺)、钛、镍、高温合金
超硬材料:多晶立方氮化硼(PCBK量和低晶金刚石(PCD)、单晶金刚石(SCD)
陶瓷:氧化锆(ZRO2)、氮化铝 (ALN)、氧化铝 (AL203)、氮化硅 (SIN)
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