2024年10月23日，第十四届中国国际纳米技术产业博览会在苏州成功举办。博览会邀请了2010年诺贝尔物理学奖获得者Andre Geim和Konstantin Novoselov，以及2014年诺贝尔物理学奖获得者天野浩出席。会议聚焦纳米技术的上下游产业链条，为企业提供了一个展示、交流、合作的绝佳舞台。

展会期间，纳米人对山东产业技术研究院MEMS微纳制造公共技术服务平台代表李景磊进行了专访。

山东产业技术研究院MEMS微纳制造公共技术服务平台

微纳制造公共技术服务平台是山东产业技术研究院部署的高能级创新平台之一，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。平台总建设面积5500㎡，洁净间面积约1800㎡，自2023年正式投产以来，正积极开展各项工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，全力成长为高效率代工研发服务、46英寸MEMS产品稳定批产、产学研联合集智创新与产业资源整合转化的全周期产业培育创新基地，全力建设区域MEMS传感器产、学、研、用创新生态，加速成果转化，为形成山东省MEMS传感器产业链提供关键制造能力支撑。

平台始终保持对客户的关注，对工艺生产质量和服务品质高标准严要求，完善体制机制产品和服务来满足客户的需求。通过提供微纳芯片设计及加工服务，内引外联、产业转化，依托产研院的省级平台，积极与客户开展政、产、学、研、金和代工等沟通协作，共同推进区域产业创新发展。

Q: 平台的主营业务是哪些？

A: 微纳制造公共技术服务平台是山东产业技术研究院部署的高能级创新平台之一，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。平台总建设面积5500㎡，洁净间面积约1800㎡。

自2023年正式投产以来，正积极开展各项工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，希望能借助平台的产业硬实力吸引产业链上下游企业入驻山东济南，形成产业集群。平台兼顾研发和量产，主要面向微纳制造领域，开展智能传感器和MEMS芯片的创新研发和代工生产。

因此，企业可以带着设计方来委托我们代为验证工艺和生产加工，也可以带着想法来，我们联合设计开发，共同突破产业创新，并使用我们平台做中试和后面量产的试验，缩短整个开发验证周期，助力我们的优质项目更快结出果实。在服务企业开展工艺研发和量产的同时，平台可协助企业获取产研院这一省级平台的产业化政策和投融资支持，全面助力企业发展。

Q：平台的主要客户是哪些？

A: 我们的公共服务仍然更多地聚焦于产业化，从目前统计的数据上看，从2023年4月产线贯通开始对外服务后，一共服务了70多家客户，其中60%是企业，且以规模较小的设计型企业居多，余下的40%是院所及高校。

Q: 平台未来的发展方向和发展目标是什么？

A：我们未来会持续专注MEMS传感器产业的创新发展，同时也会持续为三代半导体等领域的客户提供服务。我们的发展目标是成长为一个可以提供46英寸MEMS产品稳定高效代工研发服务和产学研联合集智创新服务的一站式全周期产业培育创新基地。

Q：作为企业想要入驻平台需要有哪些条件？平台又将带给企业什么支持呢？

A：微纳制造公共技术服务平台是一个完全开放性的服务平台，只要有相关的项目需求，平台就能进行市场化的报价，并进行验证或生产加工的合作。当项目落地转化成公司时，山东产研院将会对公司进行投资孵化，给到对应的资金和政策支持。

Q：平台未来有怎样的发展规划及目标呢？

A：作为位于北方地区的微纳产业服务平台，首先还是要把平台利用好运行好，扩大它的影响力，从长期上看，平台要充分发挥产业支持的职能，进而培育山东省乃至北方地区的产业聚集高地。

Q: 平台之前是否参加过纳博会？对于纳博会的感受如何？

A：平台这次已经是第二次参加纳博会了，之前也组织赴纳博会了解行业资讯。纳博会作为国内微纳制造行业名列前茅的展会，它的MEMS分会在MEMS行业是非常有影响力的。因此，我们业内的许多同行和上下游客户都来参与这个会议，我们也能借助纳博会增加宣传和曝光度，扩大平台影响力，拓展更多合作资源。

我能感受到，纳博会每一年都变得更成熟，今年的外国展商也比去年更多了。分会场的安排方面，纳博会也关注到了行业的标准化，敏锐地捕捉到了这个新动向。我们也希望未来能够多多参与纳博会相关活动，一起努力发展。

除此之外，由于纳博会的展馆面积非常大，可以更加合理优化参观动线，对于观众而言，有展位图和参观指引的帮助，参观效果可能会有更好的提升。

中国国际纳米技术产业博览会经过十四年的发展，不断提升展会的专业度和创新性，已经成为中国最具影响力的纳米技术交流盛会。

纳博会把纳米领域中各个行业的企业和专家聚在一起，促进了行业的交流，又通过分论坛的形式向与会人员输出着行业内最新、最专业的资讯和信息，把技术应用推得更深更远。

2024年10月23日，第十四届中国国际纳米技术产业博览会在苏州成功举办。博览会邀请了2010年诺贝尔物理学奖获得者Andre Geim和Konstantin Novoselov，以及2014年诺贝尔物理学奖获得者天野浩出席。会议聚焦纳米技术的上下游产业链条，为企业提供了一个展示、交流、合作的绝佳舞台。

展会期间，纳米人对山东产业技术研究院MEMS微纳制造公共技术服务平台代表李景磊进行了专访。

山东产业技术研究院MEMS微纳制造公共技术服务平台

微纳制造公共技术服务平台是山东产业技术研究院部署的高能级创新平台之一，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。平台总建设面积5500㎡，洁净间面积约1800㎡，自2023年正式投产以来，正积极开展各项工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，全力成长为高效率代工研发服务、46英寸MEMS产品稳定批产、产学研联合集智创新与产业资源整合转化的全周期产业培育创新基地，全力建设区域MEMS传感器产、学、研、用创新生态，加速成果转化，为形成山东省MEMS传感器产业链提供关键制造能力支撑。

平台始终保持对客户的关注，对工艺生产质量和服务品质高标准严要求，完善体制机制产品和服务来满足客户的需求。通过提供微纳芯片设计及加工服务，内引外联、产业转化，依托产研院的省级平台，积极与客户开展政、产、学、研、金和代工等沟通协作，共同推进区域产业创新发展。

Q: 平台的主营业务是哪些？

A: 微纳制造公共技术服务平台是山东产业技术研究院部署的高能级创新平台之一，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。平台总建设面积5500㎡，洁净间面积约1800㎡。

自2023年正式投产以来，正积极开展各项工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，希望能借助平台的产业硬实力吸引产业链上下游企业入驻山东济南，形成产业集群。平台兼顾研发和量产，主要面向微纳制造领域，开展智能传感器和MEMS芯片的创新研发和代工生产。

因此，企业可以带着设计方来委托我们代为验证工艺和生产加工，也可以带着想法来，我们联合设计开发，共同突破产业创新，并使用我们平台做中试和后面量产的试验，缩短整个开发验证周期，助力我们的优质项目更快结出果实。在服务企业开展工艺研发和量产的同时，平台可协助企业获取产研院这一省级平台的产业化政策和投融资支持，全面助力企业发展。

Q：平台的主要客户是哪些？

A: 我们的公共服务仍然更多地聚焦于产业化，从目前统计的数据上看，从2023年4月产线贯通开始对外服务后，一共服务了70多家客户，其中60%是企业，且以规模较小的设计型企业居多，余下的40%是院所及高校。

Q: 平台未来的发展方向和发展目标是什么？

A：我们未来会持续专注MEMS传感器产业的创新发展，同时也会持续为三代半导体等领域的客户提供服务。我们的发展目标是成长为一个可以提供46英寸MEMS产品稳定高效代工研发服务和产学研联合集智创新服务的一站式全周期产业培育创新基地。

Q：作为企业想要入驻平台需要有哪些条件？平台又将带给企业什么支持呢？

A：微纳制造公共技术服务平台是一个完全开放性的服务平台，只要有相关的项目需求，平台就能进行市场化的报价，并进行验证或生产加工的合作。当项目落地转化成公司时，山东产研院将会对公司进行投资孵化，给到对应的资金和政策支持。

Q：平台未来有怎样的发展规划及目标呢？

A：作为位于北方地区的微纳产业服务平台，首先还是要把平台利用好运行好，扩大它的影响力，从长期上看，平台要充分发挥产业支持的职能，进而培育山东省乃至北方地区的产业聚集高地。

Q: 平台之前是否参加过纳博会？对于纳博会的感受如何？

A：平台这次已经是第二次参加纳博会了，之前也组织赴纳博会了解行业资讯。纳博会作为国内微纳制造行业名列前茅的展会，它的MEMS分会在MEMS行业是非常有影响力的。因此，我们业内的许多同行和上下游客户都来参与这个会议，我们也能借助纳博会增加宣传和曝光度，扩大平台影响力，拓展更多合作资源。

我能感受到，纳博会每一年都变得更成熟，今年的外国展商也比去年更多了。分会场的安排方面，纳博会也关注到了行业的标准化，敏锐地捕捉到了这个新动向。我们也希望未来能够多多参与纳博会相关活动，一起努力发展。

除此之外，由于纳博会的展馆面积非常大，可以更加合理优化参观动线，对于观众而言，有展位图和参观指引的帮助，参观效果可能会有更好的提升。

中国国际纳米技术产业博览会经过十四年的发展，不断提升展会的专业度和创新性，已经成为中国最具影响力的纳米技术交流盛会。

纳博会把纳米领域中各个行业的企业和专家聚在一起，促进了行业的交流，又通过分论坛的形式向与会人员输出着行业内最新、最专业的资讯和信息，把技术应用推得更深更远。