近日，中科院上海微系统与信息技术研究所联合传感技术国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会、上海微技术工业研究院主办，北京赛微电子股份有限公司协办，上海新微科技集团有限公司、上海硅巷/新微创邑、上海龙媒商务咨询有限公司承办的“第十六届（2024年）传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展）”在上海市召开。

MEMS国际会议以“研产融合、创新应用”为宗旨，为产业界和学术界搭建一座信息互换、探讨合作的交流平台，旨在加强国内外传感器与MEMS设计和制造领域技术人员的沟通交流，促进产、学、研相结合。上海市长宁区副区长赵永尊、中国科学院上海微系统所所长谢晓明、中国科学院上海微系统所教授李昕欣致开幕词，来自国内外的四十多位顶尖专家和企业精英发表演讲，就业内最前沿的传感器与MEMS全产业链先进的技术应用和中国MEMS产业化现状及发展机遇共同分享探讨交流。同时，此次会议举行了“上海硅巷”高质量孵化器运营主体发布仪式。

赛微电子董事长、总经理杨云春博士在会上发表了《全球化布局的MEMS先进代工龙头》的主题演讲，在万物互联时代背景下，AI、大数据、5G通信、无人驾驶为代表的高新技术在国民经济及日常生活中扮演着越来越重要的角色，其中种类众多的MEMS器件是构成以上架构、系统的重要组成部分。自战略转型以来，赛微电子专注MEMS纯代工业务，在保持瑞典产线良好运营的同时，源源不断注入资源支持北京产线的建设及运营，砥砺推动不同工艺平台的搭建以及MEMS晶圆产品的精进制造。基于北京产线的实践经验，赛微电子在粤港澳大湾区、怀柔科学城筹建智能传感MEMS中试验证平台，响应相关领域的迫切需要，助力形成产业链生态，通过多方合作提升创新发展能力，积极完善公司的业务版图和全球化布局。

本次会议中，赛微电子还展示了旗下子公司制造的MEMS惯性测量单元、加速度计、硅光子、原子钟、生物传感器、气体传感器等多款晶圆产品。

MEMS-IMU具有体积小、重量轻、能耗低等特点，以微小形态采集运动载体的加速度与角速度等惯性信息，可实时输出高精度的三维位置、速度、姿态等信息，并用于姿态平衡控制、导航定位、动作执行等环节。

【加速度计】

MEMS加速度计是测量物体加速度信息的元器件，由相应的MEMS芯片、ASIC芯片及悬挂在弹簧上的惯性质量封装组成，已经广泛用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等领域。

【硅光子】

硅光子技术将光子器件和电子器件集成在同一衬底上，降低通过光纤传输数据的成本，应用领域包括通信领域的调制器、探测器、波分复用器、解复用器、偏振器、耦合器以及数字显示、光学传感等。

【芯片级原子钟】

芯片级原子钟是使用MEMS技术制造的紧凑型低功耗原子钟。当全球定位系统不可用时，可以提供更好的位置和战场态势感知。在天文、航海和宇宙航行领域，原子钟也发挥着重要作用。

【生物传感器】

生物传感器是测量生物成分的传感器，附着在芯片上的生物分子与待检测的分析物发生作用，引起传感器中的电流变化。MEMS技术可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。

【气体传感器】

基于MEMS工艺制造气体传感器芯片，采用悬膜式结构, 集成了微型加热器和叉指电极，微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度，叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。可广泛应用于家用环境监测、室内新风系统、智能家电产品、车内环境感知等领域。

赛微电子是全球领先、国际化运营的高端集成电路芯片晶圆制造厂商，也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业芯片晶圆制造商。公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂，业务遍及全球，服务客户包括DNA/RNA测序、光刻机、硅光子、AI计算、ICT、红外热成像、计算机网络及系统、元宇宙、新型医疗设备厂商以及各细分行业的领先企业，涉及产品范围覆盖了通讯、生物医疗、工业汽车、消费电子等诸多应用领域。公司同时正在打造先进的晶圆级封装测试能力，致力于为客户提供从工艺开发、晶圆制造到封装测试的系统化高端制造服务，努力发展成一家立足本土、国际化经营的知名半导体制造领军企业。

近日，中科院上海微系统与信息技术研究所联合传感技术国家重点实验室、中国电子学会传感与微系统技术分会、上海微技术工业研究院主办，北京赛微电子股份有限公司协办，上海新微科技集团有限公司、上海硅巷/新微创邑、上海龙媒商务咨询有限公司承办的“第十六届（2024年）传感器与MEMS产业化技术国际研讨会（暨成果展）”在上海市召开。

MEMS国际会议以“研产融合、创新应用”为宗旨，为产业界和学术界搭建一座信息互换、探讨合作的交流平台，旨在加强国内外传感器与MEMS设计和制造领域技术人员的沟通交流，促进产、学、研相结合。上海市长宁区副区长赵永尊、中国科学院上海微系统所所长谢晓明、中国科学院上海微系统所教授李昕欣致开幕词，来自国内外的四十多位顶尖专家和企业精英发表演讲，就业内最前沿的传感器与MEMS全产业链先进的技术应用和中国MEMS产业化现状及发展机遇共同分享探讨交流。同时，此次会议举行了“上海硅巷”高质量孵化器运营主体发布仪式。

赛微电子董事长、总经理杨云春博士在会上发表了《全球化布局的MEMS先进代工龙头》的主题演讲，在万物互联时代背景下，AI、大数据、5G通信、无人驾驶为代表的高新技术在国民经济及日常生活中扮演着越来越重要的角色，其中种类众多的MEMS器件是构成以上架构、系统的重要组成部分。自战略转型以来，赛微电子专注MEMS纯代工业务，在保持瑞典产线良好运营的同时，源源不断注入资源支持北京产线的建设及运营，砥砺推动不同工艺平台的搭建以及MEMS晶圆产品的精进制造。基于北京产线的实践经验，赛微电子在粤港澳大湾区、怀柔科学城筹建智能传感MEMS中试验证平台，响应相关领域的迫切需要，助力形成产业链生态，通过多方合作提升创新发展能力，积极完善公司的业务版图和全球化布局。

本次会议中，赛微电子还展示了旗下子公司制造的MEMS惯性测量单元、加速度计、硅光子、原子钟、生物传感器、气体传感器等多款晶圆产品。

MEMS-IMU具有体积小、重量轻、能耗低等特点，以微小形态采集运动载体的加速度与角速度等惯性信息，可实时输出高精度的三维位置、速度、姿态等信息，并用于姿态平衡控制、导航定位、动作执行等环节。

【加速度计】

MEMS加速度计是测量物体加速度信息的元器件，由相应的MEMS芯片、ASIC芯片及悬挂在弹簧上的惯性质量封装组成，已经广泛用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等领域。

【硅光子】

硅光子技术将光子器件和电子器件集成在同一衬底上，降低通过光纤传输数据的成本，应用领域包括通信领域的调制器、探测器、波分复用器、解复用器、偏振器、耦合器以及数字显示、光学传感等。

【芯片级原子钟】

芯片级原子钟是使用MEMS技术制造的紧凑型低功耗原子钟。当全球定位系统不可用时，可以提供更好的位置和战场态势感知。在天文、航海和宇宙航行领域，原子钟也发挥着重要作用。

【生物传感器】

生物传感器是测量生物成分的传感器，附着在芯片上的生物分子与待检测的分析物发生作用，引起传感器中的电流变化。MEMS技术可以实现生物芯片的高灵敏度、高准确性、微创应用及低成本、大批量生产。

【气体传感器】

基于MEMS工艺制造气体传感器芯片，采用悬膜式结构, 集成了微型加热器和叉指电极，微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度，叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。可广泛应用于家用环境监测、室内新风系统、智能家电产品、车内环境感知等领域。

赛微电子是全球领先、国际化运营的高端集成电路芯片晶圆制造厂商，也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业芯片晶圆制造商。公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂，业务遍及全球，服务客户包括DNA/RNA测序、光刻机、硅光子、AI计算、ICT、红外热成像、计算机网络及系统、元宇宙、新型医疗设备厂商以及各细分行业的领先企业，涉及产品范围覆盖了通讯、生物医疗、工业汽车、消费电子等诸多应用领域。公司同时正在打造先进的晶圆级封装测试能力，致力于为客户提供从工艺开发、晶圆制造到封装测试的系统化高端制造服务，努力发展成一家立足本土、国际化经营的知名半导体制造领军企业。