没有EUV光刻机,长鑫存储学华为换道,技术反领先三星2年?

智车科技

4周前

随着芯片技术的不断前进,对光刻机要求也是越来越高,大家逐步从DUV换成EUV,存储芯片也是如此,像三星、SK海力士、美光们,均用上了EUV。

众所周知,在芯片制造上,目前不管是逻辑芯片、存储芯片,还是其它的模拟芯片,大规模的量产,均是光刻工艺,离不开光刻机。

随着芯片技术的不断前进,对光刻机要求也是越来越高,大家逐步从DUV换成EUV,存储芯片也是如此,像三星、SK海力士、美光们,均用上了EUV。

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毕竟只要是遵循摩尔定律,不断的微缩晶体管,就迟早会用到EUV。

但EUV国内厂商是买不到的,当芯片工艺达到一定程度后,微缩晶体管就会越来越力,只能靠多重曝光一点点往下抠,成本和良率越来越吃力,所以需要换一种方式,换道超车。

比如华为就提出了韬定律,用时间微缩来替代物理微缩,绕开EUV光刻机。

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而近日,长鑫科技,在DRAM内存上,也开始换道超车了。

传统的DRAM工艺,采用的是6F结构,即晶体管是平面结构,然后电容垂直在晶体管上,相当于一个存储单元,占用的面积是最小特征尺寸平方的6倍。

工艺再前进的话,就要微缩晶体管,就要用到EUV等,但我们没有,只能进行结构改进。

于是长鑫研究出了4F,将晶体管垂直摆放,这样缩小了一个存储单元占用的面积,只要最小特征尺寸平方的4倍了,相当于节约了三分之一面积。

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这种方式之下,同样面积的芯片,存储密度就高了四分之一左右,对于原来的6F结构而言,4F相当于用结构换密度,也不用依赖EUV光刻机,因为其晶体管尺寸本身没变,不需要微缩,对长鑫来说是绕开EUV设备限制的现实选择。

并且,长鑫的这个4F结构,将领先三星约两年,因为三星的4F产品要到2028年才进入量产,而长鑫年底就会量产出来,这不是领先两年是什么?

可见,EUV光刻机确实很重要,但是也并不是非EUV光刻机不可,目前国内的厂商们,不断的努力,确实已经找到了许多绕开EUV的办法,韬定律,4F结构均是如此。

估计美国也是万万没有想到吧,在它的禁令之下,中国芯片企业,开始换道超车,找出了另外的办法,绕开了EUV,让它的禁令越来越无用了。

原文标题 : 没有EUV光刻机,长鑫存储学华为换道,技术反领先三星2年?

随着芯片技术的不断前进,对光刻机要求也是越来越高,大家逐步从DUV换成EUV,存储芯片也是如此,像三星、SK海力士、美光们,均用上了EUV。

众所周知,在芯片制造上,目前不管是逻辑芯片、存储芯片,还是其它的模拟芯片,大规模的量产,均是光刻工艺,离不开光刻机。

随着芯片技术的不断前进,对光刻机要求也是越来越高,大家逐步从DUV换成EUV,存储芯片也是如此,像三星、SK海力士、美光们,均用上了EUV。

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毕竟只要是遵循摩尔定律,不断的微缩晶体管,就迟早会用到EUV。

但EUV国内厂商是买不到的,当芯片工艺达到一定程度后,微缩晶体管就会越来越力,只能靠多重曝光一点点往下抠,成本和良率越来越吃力,所以需要换一种方式,换道超车。

比如华为就提出了韬定律,用时间微缩来替代物理微缩,绕开EUV光刻机。

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而近日,长鑫科技,在DRAM内存上,也开始换道超车了。

传统的DRAM工艺,采用的是6F结构,即晶体管是平面结构,然后电容垂直在晶体管上,相当于一个存储单元,占用的面积是最小特征尺寸平方的6倍。

工艺再前进的话,就要微缩晶体管,就要用到EUV等,但我们没有,只能进行结构改进。

于是长鑫研究出了4F,将晶体管垂直摆放,这样缩小了一个存储单元占用的面积,只要最小特征尺寸平方的4倍了,相当于节约了三分之一面积。

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这种方式之下,同样面积的芯片,存储密度就高了四分之一左右,对于原来的6F结构而言,4F相当于用结构换密度,也不用依赖EUV光刻机,因为其晶体管尺寸本身没变,不需要微缩,对长鑫来说是绕开EUV设备限制的现实选择。

并且,长鑫的这个4F结构,将领先三星约两年,因为三星的4F产品要到2028年才进入量产,而长鑫年底就会量产出来,这不是领先两年是什么?

可见,EUV光刻机确实很重要,但是也并不是非EUV光刻机不可,目前国内的厂商们,不断的努力,确实已经找到了许多绕开EUV的办法,韬定律,4F结构均是如此。

估计美国也是万万没有想到吧,在它的禁令之下,中国芯片企业,开始换道超车,找出了另外的办法,绕开了EUV,让它的禁令越来越无用了。

原文标题 : 没有EUV光刻机,长鑫存储学华为换道,技术反领先三星2年?

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