有机基板固有缺陷被彻底放大
过去十余年间,半导体行业的演进逻辑发生了一次深刻的范式转移。随着摩尔定律放缓,单纯依靠缩小晶体管来提升算力的性价比急剧降低,工程师们转而将多个不同功能的芯片像搭积木一样进行平面或立体堆叠,通过高密度互连让其协同作战,这便是先进封装技术大爆发的底层逻辑。根据Yole的统计数据,全球先进封装市场在2024年已达到460亿美元的规模,同比增长高达19%,并有望在2030年突破794亿美元,年复合增长率稳定在9.5%左右,而拉动这一轮增长的核心引擎无疑是AI加速器、GPU以及云数据中心对海量算力的渴求。
在这场算力狂欢中,无论是台积电的CoWoS还是英特尔的EMIB方案,都需要一块坚实的底座来承载芯片并负责复杂的电气连接。长期以来,由英特尔在90年代主导推广的ABF有机载板一直占据着主导地位,其全球市场规模预计将从2023年的67亿美元攀升至2028年的103亿美元。然而,当芯片封装面积不断扩大、互连密度向物理极限逼近时,有机材料的固有缺陷被彻底放大。
首先是热膨胀系数不匹配,有机基板通常在12ppm以上,而硅芯片仅为3ppm左右,这种差异在反复的高低温工作循环中会产生巨大的机械应力,严重削弱长期可靠性;其次是平整度问题,有机材料在层压和热循环中极易发生翘曲,面积越大良率越难控制;最后是布线密度的天花板,有机基板较高的表面粗糙度限制了金属线路的进一步微缩,当线宽线距要求进入10微米以下时便显得力不从心。英伟达GPU的迭代轨迹无疑印证了这一困境,从早期的GP100到最新的GB100,其核心面积突破600平方毫米并集成了多达8颗HBM,这种极其复杂的模组让有机基板的翘曲控制和布线能力彻底触及了天花板。
玻璃基板成为下一代发展方向
正是在这一行业痛点亟待解决的节点,玻璃基板以一种“破局者”的姿态闯入了产业界的视野。玻璃的热膨胀系数可根据配方精准调节至与硅芯片高度匹配的区间,其表面粗糙度极低,能够支持更细密、更尖锐的金属线路刻画。同时,玻璃极高的杨氏模量保证了即便在大尺寸下也不易发生形变,加上其天然的绝缘特性和极低的高频介电损耗,使之成为了先进封装下一代理想底座的不二之选。作为当年ABF载板的主要推手,英特尔在2023年9月率先向外界展示了玻璃基板的样品并抛出技术路线图,随即在亚利桑那州搭建了专属的研发线与供应链,正式将2026年至2030年锚定为玻璃基板的量产窗口。行业龙头的这步先手棋,无异于给整个产业链指明了下一代互连技术的发展方向。
全球主要厂商的时间表高度重合
紧随巨头定调之后,全球供应链的扩产步伐呈现出惊人的一致性,各大厂商的量产时间表高度重合在2027年至2030年这一关键区间。在代工巨头方面,台积电正积极谋划将其先进封装技术从CoWoS向CoPoS(Panel-on-Substrate)演进,核心改动正是引入大尺寸方形玻璃面板替代传统的圆形硅晶圆和有机基板,以期大幅提升面积利用率并压低单位成本;据业界权威媒体透露,台积电已于2026年设立首条试验线,量产节点极有可能落在2028年底至2029年间。
韩国阵营中,三星电子计划于2028年将玻璃基板正式引入先进封装体系以替代硅中介层,其旗下的三星电机更是紧锣密鼓地在世宗工厂架设试验线,剑指2027年的大规模量产;与此同时,SKC的美国子公司Absolics凭借在佐治亚州布局的工厂及7500万美元的政府补贴,于2025年底前完成了量产准备,率先启动了原型产品交付。中国台湾厂商则试图利用既有的面板产业积淀实现弯道超车,例如群创光电正分三步推进其玻璃基板蓝图,从目前已量产的低端电源管理芯片,逐步向一两年内可落地的中高阶消费芯片迈进,最终在未来两三年内攻坚AI和HPC所需的高难度玻璃通孔制程;而封测巨头日月光已在2025年底前跑通面板级封装产线的试产,并于2026年开启客户送样认证,力成科技也预计其产能将从2027年起对高阶CPU和AI芯片产生实质性营收贡献。
视线转回中国大陆,京东方于2024年亮出半导体封装专用玻璃基板后,其位于北京亦庄的中试线已于2025年中完成设备搬入,并规划在2027年实现20:1深宽比的量产能力,随后逐步构建高端品牌与全球生态;此外,通富微电、长电科技等封测大厂也均已表态完成了玻璃通孔基板封装的技术储备,厦门云天半导体更是宣告突破了2.5D高密度玻璃中介层技术,国产供应链正在全方位蓄力以待。
三大核心工序与工程化难题
尽管玻璃基板在物理特性上展现了碾压性的优势,但将其真正转化为可量产、高良率的工业产品,仍需跨过极高的工程壁垒。将一片脆弱的玻璃蜕变为精密的芯片载体,核心要闯过三道鬼门关,即打孔、填孔与布线。
首先是制作微米级垂直通道的玻璃通孔(TGV)工艺,传统的机械或激光盲打极易在脆性玻璃上留下微裂纹,目前业界公认的终极解法是激光诱导刻蚀法,即先用超短脉冲激光在玻璃内部改性,再浸入氢氟酸中定向溶解成型,该方法虽能兼顾5微米的极小孔径与完美的孔壁质量,却也引入了剧毒化学品的安全与环保隐患。
其次是导电填孔环节,由于玻璃不导电,必须先在其表面披覆一层金属种子层,再通过电镀将孔洞塞满或镀壁;为了平衡成本与效率,业界正从耗时费力的全填充向部分填充或半封闭结构演进,但这要求企业必须具备极其高超的药水配方研发能力,以克服深孔内药液交换不畅导致的空洞缺陷。
最后是高密度布线(RDL),例如台积电曾在47厘米级的玻璃基板上成功堆叠了5层重布线层,将线宽压缩至极致。除了这三大核心工序,大尺寸玻璃基板还面临着层间结合力薄弱以及异种材料热失配引发的宏观翘曲等系统性难题,这需要材料学家通过优化退火工艺、精选低膨胀系数聚合物介质等综合手段来逐一化解。
从商业落地的维度审视,玻璃基板的应用拓展呈现出一条极其清晰的梯度渗透路径,即从极度成熟的显示面板,一路延伸至正在攻坚的半导体先进封装。在最成熟的显示领域,玻璃基板本就是TFT-LCD的灵魂载体,随着大尺寸电视渗透率在2025年后稳步攀升,康宁等龙头企业的业绩已率先回暖;更令人振奋的是,玻璃基Mini LED背光技术在2025年迎来了真正的量产拐点,国内厂商如沃格光电不仅建起了百万平米级的产线,其产品更在高端电竞显示器上实现了对OLED视效的平替,切中了千万台级别的市场蛋糕。
在已实现规模化量产的射频器件领域,玻璃凭借极低的高频介电损耗,成为了替代传统PCB的最佳无源器件集成衬底,厦门云天半导体在2025年单季交付量便突破了千万颗,独揽了国内九成以上的市场份额。而在正处于研发向商业化过渡的光通信领域,面对传统可插拔光模块的功耗瓶颈,玻璃基板凭借其卓越的光学透明度,正被尝试用以一体式承载光电共封装功能,目前海内外巨头均已进入实质性的送样验证阶段。
归根结底,所有这些技术铺垫与市场培育,都是为了攻克最后那座堡垒——半导体先进封装。一旦玻璃基板能够在这一百亿级美元的终极战场上完成对硅中介层与有机载板的全面替代,它必将重塑未来数十年全球算力底座的物理形态,开启一个属于玻璃的崭新时代。
玻璃基板产业链相关公司
京东方在显示领域积累的玻璃基板处理经验、薄膜沉积和光刻工艺与半导体封装相通,大尺寸基板的加工能力正是面板厂商的强项。
沃格光电传统主业是TFT-LCD玻璃基板的薄化和镀膜,客户包括深天马、京东方、TCL。2025年玻璃基Mini LED背光在海信大圣G9上实现量产配套,构筑了第二成长曲线。
三孚新科与明毅电子、佛智芯签订战略合作协议,围绕玻璃封装生产设备、工艺及配套化学品进行全面合作。
德龙激光从2021年开始布局先进封装,研发出玻璃通孔和模组钻孔等新产品。
002***推出了面板级飞秒激光强化玻璃蚀刻通孔设备,最大加工尺寸730毫米乘920毫米,孔位置精度5微米。
600***公司承担的国家科技部高分辨率显示用基板玻璃项目,主要工作为推进新型显示用OLED/LTPS基板玻璃的研发及工艺探索,完成技术储备。
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作者:于晓明 执业证书编号:A0680622030012
有机基板固有缺陷被彻底放大
过去十余年间,半导体行业的演进逻辑发生了一次深刻的范式转移。随着摩尔定律放缓,单纯依靠缩小晶体管来提升算力的性价比急剧降低,工程师们转而将多个不同功能的芯片像搭积木一样进行平面或立体堆叠,通过高密度互连让其协同作战,这便是先进封装技术大爆发的底层逻辑。根据Yole的统计数据,全球先进封装市场在2024年已达到460亿美元的规模,同比增长高达19%,并有望在2030年突破794亿美元,年复合增长率稳定在9.5%左右,而拉动这一轮增长的核心引擎无疑是AI加速器、GPU以及云数据中心对海量算力的渴求。
在这场算力狂欢中,无论是台积电的CoWoS还是英特尔的EMIB方案,都需要一块坚实的底座来承载芯片并负责复杂的电气连接。长期以来,由英特尔在90年代主导推广的ABF有机载板一直占据着主导地位,其全球市场规模预计将从2023年的67亿美元攀升至2028年的103亿美元。然而,当芯片封装面积不断扩大、互连密度向物理极限逼近时,有机材料的固有缺陷被彻底放大。
首先是热膨胀系数不匹配,有机基板通常在12ppm以上,而硅芯片仅为3ppm左右,这种差异在反复的高低温工作循环中会产生巨大的机械应力,严重削弱长期可靠性;其次是平整度问题,有机材料在层压和热循环中极易发生翘曲,面积越大良率越难控制;最后是布线密度的天花板,有机基板较高的表面粗糙度限制了金属线路的进一步微缩,当线宽线距要求进入10微米以下时便显得力不从心。英伟达GPU的迭代轨迹无疑印证了这一困境,从早期的GP100到最新的GB100,其核心面积突破600平方毫米并集成了多达8颗HBM,这种极其复杂的模组让有机基板的翘曲控制和布线能力彻底触及了天花板。
玻璃基板成为下一代发展方向
正是在这一行业痛点亟待解决的节点,玻璃基板以一种“破局者”的姿态闯入了产业界的视野。玻璃的热膨胀系数可根据配方精准调节至与硅芯片高度匹配的区间,其表面粗糙度极低,能够支持更细密、更尖锐的金属线路刻画。同时,玻璃极高的杨氏模量保证了即便在大尺寸下也不易发生形变,加上其天然的绝缘特性和极低的高频介电损耗,使之成为了先进封装下一代理想底座的不二之选。作为当年ABF载板的主要推手,英特尔在2023年9月率先向外界展示了玻璃基板的样品并抛出技术路线图,随即在亚利桑那州搭建了专属的研发线与供应链,正式将2026年至2030年锚定为玻璃基板的量产窗口。行业龙头的这步先手棋,无异于给整个产业链指明了下一代互连技术的发展方向。
全球主要厂商的时间表高度重合
紧随巨头定调之后,全球供应链的扩产步伐呈现出惊人的一致性,各大厂商的量产时间表高度重合在2027年至2030年这一关键区间。在代工巨头方面,台积电正积极谋划将其先进封装技术从CoWoS向CoPoS(Panel-on-Substrate)演进,核心改动正是引入大尺寸方形玻璃面板替代传统的圆形硅晶圆和有机基板,以期大幅提升面积利用率并压低单位成本;据业界权威媒体透露,台积电已于2026年设立首条试验线,量产节点极有可能落在2028年底至2029年间。
韩国阵营中,三星电子计划于2028年将玻璃基板正式引入先进封装体系以替代硅中介层,其旗下的三星电机更是紧锣密鼓地在世宗工厂架设试验线,剑指2027年的大规模量产;与此同时,SKC的美国子公司Absolics凭借在佐治亚州布局的工厂及7500万美元的政府补贴,于2025年底前完成了量产准备,率先启动了原型产品交付。中国台湾厂商则试图利用既有的面板产业积淀实现弯道超车,例如群创光电正分三步推进其玻璃基板蓝图,从目前已量产的低端电源管理芯片,逐步向一两年内可落地的中高阶消费芯片迈进,最终在未来两三年内攻坚AI和HPC所需的高难度玻璃通孔制程;而封测巨头日月光已在2025年底前跑通面板级封装产线的试产,并于2026年开启客户送样认证,力成科技也预计其产能将从2027年起对高阶CPU和AI芯片产生实质性营收贡献。
视线转回中国大陆,京东方于2024年亮出半导体封装专用玻璃基板后,其位于北京亦庄的中试线已于2025年中完成设备搬入,并规划在2027年实现20:1深宽比的量产能力,随后逐步构建高端品牌与全球生态;此外,通富微电、长电科技等封测大厂也均已表态完成了玻璃通孔基板封装的技术储备,厦门云天半导体更是宣告突破了2.5D高密度玻璃中介层技术,国产供应链正在全方位蓄力以待。
三大核心工序与工程化难题
尽管玻璃基板在物理特性上展现了碾压性的优势,但将其真正转化为可量产、高良率的工业产品,仍需跨过极高的工程壁垒。将一片脆弱的玻璃蜕变为精密的芯片载体,核心要闯过三道鬼门关,即打孔、填孔与布线。
首先是制作微米级垂直通道的玻璃通孔(TGV)工艺,传统的机械或激光盲打极易在脆性玻璃上留下微裂纹,目前业界公认的终极解法是激光诱导刻蚀法,即先用超短脉冲激光在玻璃内部改性,再浸入氢氟酸中定向溶解成型,该方法虽能兼顾5微米的极小孔径与完美的孔壁质量,却也引入了剧毒化学品的安全与环保隐患。
其次是导电填孔环节,由于玻璃不导电,必须先在其表面披覆一层金属种子层,再通过电镀将孔洞塞满或镀壁;为了平衡成本与效率,业界正从耗时费力的全填充向部分填充或半封闭结构演进,但这要求企业必须具备极其高超的药水配方研发能力,以克服深孔内药液交换不畅导致的空洞缺陷。
最后是高密度布线(RDL),例如台积电曾在47厘米级的玻璃基板上成功堆叠了5层重布线层,将线宽压缩至极致。除了这三大核心工序,大尺寸玻璃基板还面临着层间结合力薄弱以及异种材料热失配引发的宏观翘曲等系统性难题,这需要材料学家通过优化退火工艺、精选低膨胀系数聚合物介质等综合手段来逐一化解。
从商业落地的维度审视,玻璃基板的应用拓展呈现出一条极其清晰的梯度渗透路径,即从极度成熟的显示面板,一路延伸至正在攻坚的半导体先进封装。在最成熟的显示领域,玻璃基板本就是TFT-LCD的灵魂载体,随着大尺寸电视渗透率在2025年后稳步攀升,康宁等龙头企业的业绩已率先回暖;更令人振奋的是,玻璃基Mini LED背光技术在2025年迎来了真正的量产拐点,国内厂商如沃格光电不仅建起了百万平米级的产线,其产品更在高端电竞显示器上实现了对OLED视效的平替,切中了千万台级别的市场蛋糕。
在已实现规模化量产的射频器件领域,玻璃凭借极低的高频介电损耗,成为了替代传统PCB的最佳无源器件集成衬底,厦门云天半导体在2025年单季交付量便突破了千万颗,独揽了国内九成以上的市场份额。而在正处于研发向商业化过渡的光通信领域,面对传统可插拔光模块的功耗瓶颈,玻璃基板凭借其卓越的光学透明度,正被尝试用以一体式承载光电共封装功能,目前海内外巨头均已进入实质性的送样验证阶段。
归根结底,所有这些技术铺垫与市场培育,都是为了攻克最后那座堡垒——半导体先进封装。一旦玻璃基板能够在这一百亿级美元的终极战场上完成对硅中介层与有机载板的全面替代,它必将重塑未来数十年全球算力底座的物理形态,开启一个属于玻璃的崭新时代。
玻璃基板产业链相关公司
京东方在显示领域积累的玻璃基板处理经验、薄膜沉积和光刻工艺与半导体封装相通,大尺寸基板的加工能力正是面板厂商的强项。
沃格光电传统主业是TFT-LCD玻璃基板的薄化和镀膜,客户包括深天马、京东方、TCL。2025年玻璃基Mini LED背光在海信大圣G9上实现量产配套,构筑了第二成长曲线。
三孚新科与明毅电子、佛智芯签订战略合作协议,围绕玻璃封装生产设备、工艺及配套化学品进行全面合作。
德龙激光从2021年开始布局先进封装,研发出玻璃通孔和模组钻孔等新产品。
002***推出了面板级飞秒激光强化玻璃蚀刻通孔设备,最大加工尺寸730毫米乘920毫米,孔位置精度5微米。
600***公司承担的国家科技部高分辨率显示用基板玻璃项目,主要工作为推进新型显示用OLED/LTPS基板玻璃的研发及工艺探索,完成技术储备。
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作者:于晓明 执业证书编号:A0680622030012