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为此，非夕科技合作伙伴DOCO Engineering为全球领先的真空技术公司Pfeiffer Vacuum打造了一款真空腔体综合打磨抛光工作站，专为半导体行业设计，显著提升了生产效率和工艺可靠性。
案例介绍
该工作站基于非夕科技自主研发的自适应机器人 Rizon 10，专为处理大型真空腔体（1220mm x 1300mm）的边缘打磨和抛光而设计。
工作流程
方案优势
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