12月1日， MEMS智能传感器技术分会场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了MEMS与智能传感器的专家学者，围绕智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，以及我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。中国工程院院士、陕西省科协主席、西安交通大学蒋庄德教授亲临大会并为本分会场专题报告致辞。

本次会议由郑州市人民政府、中国仪器仪表学会主办，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会、中国仪器仪表学会传感器分会、河南工业大学、汉威科技集团股份有限公司承办。

绍兴文理学院王跃林教授作《MEMS创新与产业化》主题报告。他提到，MEMS特别适合创新，它的特点一是以应用为导向，二是蕴含大量的创新机会。技术源自产业化，生态在产业化中尤为重要。要把压力传感器做到性价比高、成本低、性能好，比如电子管芯片化，就要颠覆其传统的制造方法，采用平面工艺制造，可以大幅度管电路的性能。报告中从微电子的角度对MEMS工艺进行介绍，强调了创新和构建产业生态的重要性。

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副主任委员、西北工业大学苑伟政教授作《极端环境智能微系统发展》主题报告。他提到，MEMS与智能微系统是从微机械开始的，只有到了批量化制造的时候，才真正具有产业化的生命力。在极端环境下（如高超声速飞行器和航空发动机等）的感知与控制，面临的问题包括“卡、禁、无”，因此对高端芯片的需求十分迫切。报告中探讨了MEMS与智能微系统的演变过程，提出几种MEMS原理。结合国家在航空航天、深海深地等极端环境下的应用需求，介绍了西北工业大学的研究工作，提出了相关的展望。

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务委员、中国科学院空天信息创新研究院陈健研究员作《单细胞检测与微传感器》主题报告。他提到，面向人民生命健康，单细胞检测为精准医学提供诊断方法，在全血分析和血癌诊断中发挥核心作用。目前，该领域的技术瓶颈是“无法快速量化检测单细胞理化特征”，关键科学问题是“单细胞理化特征与细胞分类分型的定量关系不明”，严重制约肿瘤学、血液学的发展。报告中明晰了基于MEMS“压缩通道”的理化特征高通量定量原理，揭示了单细胞电学/力学/蛋白表达等理化特征与外周血白细胞分类/急性白血病分型的定量关系。

中国仪器仪表学会传感器分会主任委员、中国航天科技集团有限公司九院七〇四所副总工程师陈青松研究员作《重复使用火箭的传感需求》主题报告。报告介绍了当前国内商业航天发展态势，指出商业航天作为市场发展新引擎、产业转型加速器、技术创新助推剂的重要意义。现役航天传感器在火箭飞行模态辨识、气动热环境监测、动力系统闭环控制等方面均起到重要作用。重复使用火箭在结构健康诊断和评估、高精度回收定位、低温储箱液位测量、隔热烧蚀材料衰退率检测等应用场景对传感器提出了新需求，需要通过应用新技术和新工艺来实现高可靠、低成本、高效率的要求。

河南工业大学李松霖博士（代王莉教授）作《半导体氧化物协同吸附气敏增强机理及传感器研究》主题报告。他指出，半导体气体传感器主要面临的是抗干扰能力差和不便携的问题。在粮用气体传感器中，如何构建一个高选择性的金属氧化物半导体材料气敏模型，进行传感器融合与数据处理，成为面临的调整。报告中通过对多传感器融合以及算法的分析，将嗅觉设备应用到粮食和智慧康养方面。表现协同吸附作用对选择性的提高，突破灵敏度和稳定性、选择性制约的瓶颈。并对在鱼新鲜度、储量虫霉、粮食新陈度和呼吸道疾病四个应用领域的检测进行了验证。

郑州炜盛电子科技有限公司副总经理、高级工程师，郑州炜盛研究院副院长李明辉作了《基于多传感器融合的智能MEMS传感器》主题报告。他提到了MEMS气体传感器的三项核心技术，介绍了“AI多参数的融合和预测”是目前炜盛在做的主要的工作之一。传感器发展的目标包括“更小、更多、更强、更新”四个方面，发展现状正走向“多功能、高密度”。主要更新的是以新理念、新模式的MEMS与现实应用结合后的新发展。报告中通过介绍多传感器融合的智能MEMS传感器的背景和目标，分享了炜盛科技在该领域的研发思路、研发方法、取得的研发成果，以及融合后的传感器应用场景。

此次会议的成功召开，有利于突破相关产业发展的技术瓶颈和体制约束，有利于提升我国MEMS与智能传感器产业技术的核心竞争力，还有利于促进企业、高等院校和科研院所在战略层面有效结合，进而促进学术界与企业界的深度合作，有利于推进基础研究的成果转化，建立并完善我国传感器领域的创新体系。这次会议在积极促进MEMS和纳米技术发展中，尤其是以微纳器件为代表的新型智能微纳器件与系统技术在学科交叉、创新与前沿课题研究、国际交流与产业化等方面的发展具有重要意义和广阔的应用前景。

12月1日， MEMS智能传感器技术分会场活动在郑州国际会展中心成功召开。本次论坛邀请了MEMS与智能传感器的专家学者，围绕智能传感器行业发展存在的突出问题及薄弱环节，以及我国MEMS与智能传感器技术的核心竞争力进行了深度探讨。中国工程院院士、陕西省科协主席、西安交通大学蒋庄德教授亲临大会并为本分会场专题报告致辞。

本次会议由郑州市人民政府、中国仪器仪表学会主办，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会、中国仪器仪表学会传感器分会、河南工业大学、汉威科技集团股份有限公司承办。

绍兴文理学院王跃林教授作《MEMS创新与产业化》主题报告。他提到，MEMS特别适合创新，它的特点一是以应用为导向，二是蕴含大量的创新机会。技术源自产业化，生态在产业化中尤为重要。要把压力传感器做到性价比高、成本低、性能好，比如电子管芯片化，就要颠覆其传统的制造方法，采用平面工艺制造，可以大幅度管电路的性能。报告中从微电子的角度对MEMS工艺进行介绍，强调了创新和构建产业生态的重要性。

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副主任委员、西北工业大学苑伟政教授作《极端环境智能微系统发展》主题报告。他提到，MEMS与智能微系统是从微机械开始的，只有到了批量化制造的时候，才真正具有产业化的生命力。在极端环境下（如高超声速飞行器和航空发动机等）的感知与控制，面临的问题包括“卡、禁、无”，因此对高端芯片的需求十分迫切。报告中探讨了MEMS与智能微系统的演变过程，提出几种MEMS原理。结合国家在航空航天、深海深地等极端环境下的应用需求，介绍了西北工业大学的研究工作，提出了相关的展望。

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务委员、中国科学院空天信息创新研究院陈健研究员作《单细胞检测与微传感器》主题报告。他提到，面向人民生命健康，单细胞检测为精准医学提供诊断方法，在全血分析和血癌诊断中发挥核心作用。目前，该领域的技术瓶颈是“无法快速量化检测单细胞理化特征”，关键科学问题是“单细胞理化特征与细胞分类分型的定量关系不明”，严重制约肿瘤学、血液学的发展。报告中明晰了基于MEMS“压缩通道”的理化特征高通量定量原理，揭示了单细胞电学/力学/蛋白表达等理化特征与外周血白细胞分类/急性白血病分型的定量关系。

中国仪器仪表学会传感器分会主任委员、中国航天科技集团有限公司九院七〇四所副总工程师陈青松研究员作《重复使用火箭的传感需求》主题报告。报告介绍了当前国内商业航天发展态势，指出商业航天作为市场发展新引擎、产业转型加速器、技术创新助推剂的重要意义。现役航天传感器在火箭飞行模态辨识、气动热环境监测、动力系统闭环控制等方面均起到重要作用。重复使用火箭在结构健康诊断和评估、高精度回收定位、低温储箱液位测量、隔热烧蚀材料衰退率检测等应用场景对传感器提出了新需求，需要通过应用新技术和新工艺来实现高可靠、低成本、高效率的要求。

河南工业大学李松霖博士（代王莉教授）作《半导体氧化物协同吸附气敏增强机理及传感器研究》主题报告。他指出，半导体气体传感器主要面临的是抗干扰能力差和不便携的问题。在粮用气体传感器中，如何构建一个高选择性的金属氧化物半导体材料气敏模型，进行传感器融合与数据处理，成为面临的调整。报告中通过对多传感器融合以及算法的分析，将嗅觉设备应用到粮食和智慧康养方面。表现协同吸附作用对选择性的提高，突破灵敏度和稳定性、选择性制约的瓶颈。并对在鱼新鲜度、储量虫霉、粮食新陈度和呼吸道疾病四个应用领域的检测进行了验证。

郑州炜盛电子科技有限公司副总经理、高级工程师，郑州炜盛研究院副院长李明辉作了《基于多传感器融合的智能MEMS传感器》主题报告。他提到了MEMS气体传感器的三项核心技术，介绍了“AI多参数的融合和预测”是目前炜盛在做的主要的工作之一。传感器发展的目标包括“更小、更多、更强、更新”四个方面，发展现状正走向“多功能、高密度”。主要更新的是以新理念、新模式的MEMS与现实应用结合后的新发展。报告中通过介绍多传感器融合的智能MEMS传感器的背景和目标，分享了炜盛科技在该领域的研发思路、研发方法、取得的研发成果，以及融合后的传感器应用场景。

此次会议的成功召开，有利于突破相关产业发展的技术瓶颈和体制约束，有利于提升我国MEMS与智能传感器产业技术的核心竞争力，还有利于促进企业、高等院校和科研院所在战略层面有效结合，进而促进学术界与企业界的深度合作，有利于推进基础研究的成果转化，建立并完善我国传感器领域的创新体系。这次会议在积极促进MEMS和纳米技术发展中，尤其是以微纳器件为代表的新型智能微纳器件与系统技术在学科交叉、创新与前沿课题研究、国际交流与产业化等方面的发展具有重要意义和广阔的应用前景。