光学超构表面的微纳加工技术研究进展

MEMS

3天前

超构表面被认为是第三代新型光学元件,掌握自主可控微纳结构光学元件设计、加工制备技术和装备,就抓住了应对新一轮产业技术变革的主动权。

据麦姆斯咨询报道,2024年11月1日至3日,湖南大学副教授胡跃强将参加《第65期“见微知著”培训课程:光学超构表面及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:光学超构表面的微纳加工技术研究进展

授课老师简介:

胡跃强,博士,湖南大学机械与运载工程学院副教授、博士生导师。他担任《光学精密工程》编委、International Journal of Extreme Manufacturing(《极端制造》)和《红外与激光工程》青年编委。他还是美国光学学会(OSA)会员、中国机械工程学会高级会员、中国微纳米技术协会高级会员。2018年于清华大学获得博士学位,先后在美国加州大学伯克利分校、德国马普所等机构学习工作,2018年加入湖南大学,主要研究方向为微纳结构(尤其是超构表面元件)的光场调控原理设计、器件制备和系统应用。他主持国家xx基金重点项目、国家重点研发计划课题、国家自然科学面上、青年及中欧人才计划基金以及企业重大攻关项目等数项。他在Nature CommunicationsLight: Science ApplicationNano LettersEngineeringAdvanced Functional Materials等期刊发表SCI论文,入选ESI热点论文2篇,高被引论文8篇,申请发明专利40余项,授权12项。

授课背景及内容:

由于超构表面是由在二维平面上高自由度、非周期性、排列密集的亚波长单元结构组成,通过调整超构单元的形状、大小、方向或位置,可以在界面处引入相位梯度,并任意控制光波前。超构表面被认为是第三代新型光学元件,掌握自主可控微纳结构光学元件设计、加工制备技术和装备,就抓住了应对新一轮产业技术变革的主动权!在光学波段(从紫外光、可见光到红外光波段)的超构表面对微纳加工提出了一些极端的参数要求,例如极小尺度、极高精度、极高深宽比、难加工材料、跨尺度、多维度精确对准等,对其走向实际的量产应用提出了极大的挑战。到目前为止,已有三种很有前途的微纳加工技术被用于制造大面积超构表面:DUV光刻、纳米转移印刷(nTP)、纳米压印光刻(NIL)。本课程针对光学超构表面,深入讲解从小批量实验加工到大批量生产制造的微纳加工技术及研究情况,最后针对微纳加工技术的当前挑战和未来发展进行总结和展望。

课程提纲:1. 微纳加工技术概述;
2. 电子束曝光;
3. 聚焦离子束刻蚀;
4. 激光直写加工;
5. 掩模光刻加工;
6. 纳米压印加工。

培训详情:https://www.memstraining.com/training-65.html

超构表面被认为是第三代新型光学元件,掌握自主可控微纳结构光学元件设计、加工制备技术和装备,就抓住了应对新一轮产业技术变革的主动权。

据麦姆斯咨询报道,2024年11月1日至3日,湖南大学副教授胡跃强将参加《第65期“见微知著”培训课程:光学超构表面及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:光学超构表面的微纳加工技术研究进展

授课老师简介:

胡跃强,博士,湖南大学机械与运载工程学院副教授、博士生导师。他担任《光学精密工程》编委、International Journal of Extreme Manufacturing(《极端制造》)和《红外与激光工程》青年编委。他还是美国光学学会(OSA)会员、中国机械工程学会高级会员、中国微纳米技术协会高级会员。2018年于清华大学获得博士学位,先后在美国加州大学伯克利分校、德国马普所等机构学习工作,2018年加入湖南大学,主要研究方向为微纳结构(尤其是超构表面元件)的光场调控原理设计、器件制备和系统应用。他主持国家xx基金重点项目、国家重点研发计划课题、国家自然科学面上、青年及中欧人才计划基金以及企业重大攻关项目等数项。他在Nature CommunicationsLight: Science ApplicationNano LettersEngineeringAdvanced Functional Materials等期刊发表SCI论文,入选ESI热点论文2篇,高被引论文8篇,申请发明专利40余项,授权12项。

授课背景及内容:

由于超构表面是由在二维平面上高自由度、非周期性、排列密集的亚波长单元结构组成,通过调整超构单元的形状、大小、方向或位置,可以在界面处引入相位梯度,并任意控制光波前。超构表面被认为是第三代新型光学元件,掌握自主可控微纳结构光学元件设计、加工制备技术和装备,就抓住了应对新一轮产业技术变革的主动权!在光学波段(从紫外光、可见光到红外光波段)的超构表面对微纳加工提出了一些极端的参数要求,例如极小尺度、极高精度、极高深宽比、难加工材料、跨尺度、多维度精确对准等,对其走向实际的量产应用提出了极大的挑战。到目前为止,已有三种很有前途的微纳加工技术被用于制造大面积超构表面:DUV光刻、纳米转移印刷(nTP)、纳米压印光刻(NIL)。本课程针对光学超构表面,深入讲解从小批量实验加工到大批量生产制造的微纳加工技术及研究情况,最后针对微纳加工技术的当前挑战和未来发展进行总结和展望。

课程提纲:1. 微纳加工技术概述;
2. 电子束曝光;
3. 聚焦离子束刻蚀;
4. 激光直写加工;
5. 掩模光刻加工;
6. 纳米压印加工。

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