MEMS惯性传感器设计与工艺
南京理工大学
1
成果简介
针对高精度、高性能MEMS加速度计、陀螺仪的全国产化设计与制造需求，在高精度、高性能加速度计、陀螺仪的结构设计、晶圆级制造工艺检测、先进封装、专用集成电路等方面开展研究，突破了全自主、全国产中高端MEMS惯性器件流片工艺，核心指标接近甚至部分超越国际主流产品，解决“卡脖子”问题。主要产品及技术参数如下：
1）MEMS陀螺仪：具有<1%地球转速分辨能力，定向精度优于1°，零偏不稳定性及寻北精度接近以Honeywell HG7930为代表的国际最高水平；
2）MEMS谐振式加速度计：尺寸8.8mm×8.8mm，量程±30g，偏值不稳定性<1μg；通过-40~60℃全温区、13.8grms随机振动、150g跌落、3000g冲击响应谱等模拟环境验证。零偏与标度稳定性与Honeywell的石英基产品QA3000持平，抗冲击能力更优。
2
应用领域
无人系统、自动驾驶、高端工业、电子产品等领域。
3
市场前景
MEMS惯性传感器成果已在多家重点企业加速度计、陀螺仪项目得到应用，并且凭借自身成本、体量、功耗、可靠性等综合性能进入其他运动感知传感器市场。预计2023至2026年中国MEMS惯性传感器行业市场规模年复合增长率将达到11.15%，到2026年能够增长至362.58亿元。目前中高端产品被国外寡头垄断，国产替代机会空间丰厚；下游新需求、新应用拉动，中国MEMS惯性传感器市场增速将领先全球。
4
知识产权
已获批多项专利，均为成果单位单独持有。
MEMS惯性传感器设计与工艺
南京理工大学
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成果简介
针对高精度、高性能MEMS加速度计、陀螺仪的全国产化设计与制造需求，在高精度、高性能加速度计、陀螺仪的结构设计、晶圆级制造工艺检测、先进封装、专用集成电路等方面开展研究，突破了全自主、全国产中高端MEMS惯性器件流片工艺，核心指标接近甚至部分超越国际主流产品，解决“卡脖子”问题。主要产品及技术参数如下：
1）MEMS陀螺仪：具有<1%地球转速分辨能力，定向精度优于1°，零偏不稳定性及寻北精度接近以Honeywell HG7930为代表的国际最高水平；
2）MEMS谐振式加速度计：尺寸8.8mm×8.8mm，量程±30g，偏值不稳定性<1μg；通过-40~60℃全温区、13.8grms随机振动、150g跌落、3000g冲击响应谱等模拟环境验证。零偏与标度稳定性与Honeywell的石英基产品QA3000持平，抗冲击能力更优。
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应用领域
无人系统、自动驾驶、高端工业、电子产品等领域。
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市场前景
MEMS惯性传感器成果已在多家重点企业加速度计、陀螺仪项目得到应用，并且凭借自身成本、体量、功耗、可靠性等综合性能进入其他运动感知传感器市场。预计2023至2026年中国MEMS惯性传感器行业市场规模年复合增长率将达到11.15%，到2026年能够增长至362.58亿元。目前中高端产品被国外寡头垄断，国产替代机会空间丰厚；下游新需求、新应用拉动，中国MEMS惯性传感器市场增速将领先全球。
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知识产权
已获批多项专利，均为成果单位单独持有。
